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一种用真空镀膜机涂布功能膜的方法
发布时间:2022-04-11
一种用真空镀膜机涂布功能膜的方法
镀膜功能膜，有两种实现的方法，CVD法，PVD法，今天小编为大家介绍一下， 真空镀膜机镀膜功能膜的方法，采用PVD镀膜，希望对大家有所帮助:
PVD方法使用蒸发和溅射等物理形式的物质目标源删除,然后携带能量通过真空或真空空间使蒸汽离子沉积到衬底表面形成一层膜或部分,通过气相的反应过程,气相反应发生金属原子的蒸发和溅射，从而在工具表面沉积所需的化合物。PVD涂层可涂层钛氮化物、钛碳氮化物、铝钛氮化物，以及各种难熔金属碳化物和氮化物。
目前常用的PvD方法有低压电子束蒸发(LVEE)、阴极电子电弧沉积(CAD)、晶体管高压电子束蒸发(THVEE)、非平衡磁控溅射(UMS)、离子束辅助沉积(IAD)和动态离子束混合(DIM)。主要区别在于沉积材料的汽化方式和等离子体产生方式不同，导致成膜速度和成膜质量不同。
PVD技术主要应用于整体硬质合金刀具和高速工具钢刀具的表面处理，并已广泛应用于硬质合金钻头、铣刀、铰刀、丝锥、异形刀具、焊接工具等的涂层处理。
与CVD相比，PVD有以下优点:
涂层温度(300~500℃)低于高速工具钢的回火温度，因此不会损害高速工具钢刀具的硬度和尺寸精度，涂层后无需热处理。涂层的有效厚度只有几微米，所以可以保证刀具的原始精度，适合于涂层精度高的刀具。涂层纯度高，致密性好，涂层与基体结合牢固。涂层的性能不受基体材料的影响。涂层均匀，切削刃和圆弧无增厚或圆角现象，使复杂刀具能得到均匀的涂层。无脱碳相，涂层无氯腐蚀和CVD法氢脆变形引起的脆性开裂。涂层刀片强度高。工作过程干净、无污染、无污染。
目前，真空镀膜机的PVD技术不仅提高了膜与刀具基体材料的结合强度，而且使镀膜成分从单一镀层发展到TiC、TiCN、ZrN、CrN、MoS2、TIAIN、TiAICN、Tin-Ain、CN等多种复合镀层。PVD涂层工具质量有一个新的突破,这部电影涂层不仅结合强度高,硬度接近CBN、良好的抗氧化性能,并能有效地控制精密工具边缘的形状和精度,高精度加工,其加工精度不低于裸露的工具。
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